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潔凈厭氧高溫氣氛爐
產(chǎn)品特點：潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN430C/630C/450C/650C潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。特點最高工作溫度360℃和500℃。采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時間短，N2 消耗量極低。磁密封保持高氣密性，采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
更新時間：2023-05-18
產(chǎn)品型號：DTN430C/630C/450C/650C
廠商性質(zhì)：代理商
生產(chǎn)地址：
產(chǎn)品詳情
潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
特點
最高工作溫度360℃和500℃。
采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時間短，N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性，采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。
可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對氣體進(jìn)行冷卻回收。
門檢測開關(guān)
溫度過升防止器
氧濃度異常安全裝置
氮氣壓力檢測
氮氣流量檢測
冷卻水流量檢測
漏水傳感器
過電流漏電漏電保護開關(guān)
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